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近日，江蘇省科技廳公示了2025年度省科技重大專項擬立項目名單，由江蘇首芯半導(dǎo)體科技有限公司牽頭，東南大學(xué)、南京理工大學(xué)、日月新半導(dǎo)體（蘇州）有限公司參與的“單次成膜厚于4μm的氧化硅薄膜沉積設(shè)備研發(fā)”項目入選，這是江陰高新區(qū)企業(yè)首次獲得該計劃項目，也是江陰市此次唯一上榜的項目。

江蘇省科技重大專項是江蘇省為發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，打造具有全球影響力的產(chǎn)業(yè)科技創(chuàng)新中心，面向世界科技前沿、國家重大戰(zhàn)略需求和江蘇省經(jīng)濟(jì)社會發(fā)展需要，部署實施的科技重大專項，旨在通過專項的實施突破一批產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵核心技術(shù)，形成標(biāo)志性重大戰(zhàn)略產(chǎn)品，推動科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合，賦能新興產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

江蘇首芯半導(dǎo)體科技有限公司成立于2023年2月，核心團(tuán)隊由國內(nèi)外頂尖半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域的專家組成，主要從事高端薄膜沉積設(shè)備的研發(fā)、制造及銷售，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于（泛）半導(dǎo)體先進(jìn)制程領(lǐng)域，為行業(yè)提供關(guān)鍵設(shè)備支撐。

此次入選的項目，聚焦半導(dǎo)體先進(jìn)封裝領(lǐng)域核心技術(shù)需求，旨在攻克低溫/高溫工藝下的晶圓溫度控制、薄膜均勻性、缺陷度等核心技術(shù)瓶頸，滿足先進(jìn)封裝對超厚、低缺陷氧化硅薄膜的迫切需求，填補國產(chǎn)設(shè)備的空白，推動我國半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)向高端化、智能化方向發(fā)展。

近年來，江陰高新區(qū)始終將科技創(chuàng)新作為核心驅(qū)動力，引導(dǎo)企業(yè)持續(xù)加大研發(fā)投入，積極搭建產(chǎn)學(xué)研合作平臺，推動企業(yè)與高校、科研院所深度聯(lián)動，共同攻克關(guān)鍵核心技術(shù)。未來，高新區(qū)將進(jìn)一步強化企業(yè)科技創(chuàng)新主體地位，加快推進(jìn)科技創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合，不斷提升創(chuàng)新能力與核心競爭力，為產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展注入更強動能。

（圖片來源：江陰高新區(qū)）