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近日，由同濟大學(xué)牽頭的項目“皮米精確度的直接溯源型納米幾何量標(biāo)準物質(zhì)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”榮獲2024年度中國計量測試學(xué)會科學(xué)技術(shù)進步獎一等獎。該項目提出了納米長度直接溯源至量子化光晶格常數(shù)的新路徑，建立了納米級正交角度直接溯源新理念，發(fā)明了晶圓級標(biāo)準片制造和定值的嵌入式溯源新技術(shù)。

納米計量是集成電路等納米制造的準繩，是集成電路量測設(shè)備準確性、一致性、可比性的核心支撐。納米幾何量標(biāo)準物質(zhì)是納米計量體系中量值傳遞的“標(biāo)準尺子”，“尺子”的準確性奠定了納米量值傳遞的質(zhì)量基礎(chǔ)。與此同時，國際單位制變革為納米計量“量子化和扁平化”的創(chuàng)新發(fā)展帶來了新機遇。

據(jù)介紹，“皮米精確度的直接溯源型納米幾何量標(biāo)準物質(zhì)關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用”項目成果具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)，已成功應(yīng)用于國內(nèi)外頂級計量機構(gòu)，推動了納米計量技術(shù)進步和國家標(biāo)準裝置能力提升。同時，項目應(yīng)用于集成電路產(chǎn)業(yè)，支持了我國芯片制造良率的穩(wěn)固提升和量檢測設(shè)備的自主創(chuàng)新；應(yīng)用于高端儀器儀表企業(yè)，提升了納米計量的自主可控和產(chǎn)業(yè)鏈安全水平，“實現(xiàn)了用自己的尺子量自己的產(chǎn)品”。

在國家市場監(jiān)督管理總局支持下，同濟大學(xué)牽頭籌建了國家集成電路微納檢測設(shè)備產(chǎn)業(yè)計量測試中心（上海），已成為我國集成電路納米計量測試領(lǐng)域的重要力量。此外，同濟大學(xué)在上海市教委支持下，設(shè)立了集成電路計量測試技術(shù)專項班和微專業(yè)，面向本科生和研究生教育，為集成電路產(chǎn)業(yè)建設(shè)計量測試人才梯隊，有力地支撐了我國集成電路等納米制造、納米測量產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。